薄膜之殘留應力相關問題

想請問各位高手

我看一般量測薄膜的殘留應力是利用GIXRD去量測

但是其中複雜的原理與密密麻麻的公式真的是不了解...

想請問是直接利用XRD就能量測出來嗎?

還是量測後還要在自己手算?

最後還想問要量測殘留應力時，需事先知道什麼參數才能量測?








拜託各位高手了!!!