想請問各位高手
我看一般量測薄膜的殘留應力是利用GIXRD去量測
但是其中複雜的原理與密密麻麻的公式真的是不了解...
想請問是直接利用XRD就能量測出來嗎?
還是量測後還要在自己手算?
最後還想問要量測殘留應力時,需事先知道什麼參數才能量測?
拜託各位高手了!!!
收錄日期: 2021-04-21 13:26:28
原文連結 [永久失效]:
https://hk.answers.yahoo.com/question/index?qid=20150623000010KK01536