如題
請問是用在哪邊?原理是什麼?
請問半導體設備的bell jar用途和原理
2010-05-14 6:55 pm
回答 (1)
2010-05-21 10:17 am
✔ 最佳答案
應該是熱蒸鍍機(evaporation,屬於物理氣相沉積PVD，physical vapor deposition) 才有的鐘罩,請參考以下PDF檔http://www.me.tnu.edu.tw/study/proj/proj90/90-14%BC%F6%BB%5D%C1%E1%BE%F7%BBP%B0%AA%B7%C5%C4l%BA%DE.pdf
收錄日期: 2021-04-15 19:54:14
原文連結 [永久失效]:
https://hk.answers.yahoo.com/question/index?qid=20100514000015KK02128