何謂潔淨室與其特性?(20點)

Clean Room亦即潔淨室、無塵室或無菌室，是指一個具有低污染水平的環境，這裡所指的污染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學揮發性氣體。更準確地講，一個淨室具有一個受控的污染級別，污染級別可用每立方米的顆粒數，或者用最大顆粒大小來釐定的。低級別的淨室通常是沒有經過消毒的(如沒有受控的微生物)，更多的是關心空氣傳播的灰塵。 潔淨室的定義為將空間範圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個相當潔淨的環境。

★潔淨室空調的特性
‧溫溼度要求比一般空調低 一般空調要求在25°C~27 °C之間，相對溼度則在55%~70%之間；無塵室空調必須控制在22°C~24 °C之間, 相對溼度則在40%~45% 。
‧恆溫恆溼控制 由於半導體製程對溫溼度變化的大小極為敏感，故在潔淨室大部分區域必須控制在± 1°C 及± 3% 之內。
‧所需的外氣較多 由於半導體工廠中，製程系統需使用大量的化學品和毒氣，這些化學品和毒氣所產生的揮發氣體和廢氣必須予以全數排除，故排氣量相當大，為維持無塵室壓力比外面的大氣壓力大，此時所補充的空氣量亦隨之增加。
‧空調系統24小時全天運轉並監控管理 半導體工廠部分製程設備，對溫溼度變化極為敏感，如黃光區Stepper光學機台，些微的溫、溼度變化均會使設備的準度偏差，另外晶片等產品也必須置放在定溫定溼的環境下，故空調系統必須24小時監控管理之。
‧半導體廠無塵室室內壓力大小 半導體廠無塵室室內壓力必須比室外高些許，除了為避免室外的溫、溼度、particle 影響無塵室生產區的環境條件外，並可延長無塵室ULPAfilter的壽命，但不能無條件增加，如此將使向外逸散的潔淨空氣增加而增加運轉成本。
‧氣流分佈須均勻 潔淨室空調為帶走潔淨室內所產生的微塵粒子以維持潔淨度故除了氣流速度須達到一定之要求標準外，氣流的流線形狀也必須依不同的潔淨室等級加以適當的控制。

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★工業潔淨室與醫療潔淨室的不同


★潔淨室空氣過濾器的分類
根據性能（效率、阻力、容塵量）濾料,形式和作用的不同,空氣過濾器可分為初效空氣過濾器、中效空氣過濾器、高中效空氣過濾器、亞高效空氣過濾器、高效空氣過濾器和超高效空氣過濾器。
以下具體介紹各種潔淨室空氣過濾器-----
1. 初效空氣過濾器(CHEPA AIRFILTER)：
對粒徑≥5.0um的粒子,其大氣塵限徑計數≥40%,<80%的空氣過濾器。其燃料多為無紡布玻璃纖維,形式多為版式、折疊式、袋式,一般作為預過濾器以保護後面的空調設備和過濾設備。
2. 中效空氣過濾器(MHEPA AIRFILTER):
對粒徑≥1.0um的粒子,其大氣塵限徑計數率≥20%,<70%的空氣過濾器。其濾料多為無紡布玻璃纖維, 形式多為折疊式和袋式,空調系統中可做終端空氣過濾器,在淨化系統中多為預過濾器以保護後面的空調設備和空氣過濾設備。
3. 高中效空氣過濾器(HMHEPA AIRFILTER):
對粒徑≥1.0um的粒子,其大氣塵限徑計數率≥70%,<99%的空氣過濾器。其濾料形式和作用與中效級相近。
4. 亞高效空氣過濾器(SUB-HEPA AIRFILTER):
對粒徑≥0.5um,其大氣塵限徑計數率≥95%,<99.9%的空氣過濾器。其濾料多為超細玻璃纖維和丙綸無紡布。形式為折疊式有隔板或無隔板。其作用為低級別淨化系統中做終端空氣過濾器。
5. 高效空氣過濾器(HEPA AIRFILTER)：
在額定風量下，對粒徑≥0.3um粒子的鈉焰效率在99.9%以上, 空氣阻力在250Pa以下的空氣過濾器, 其濾料多為超細玻璃纖維紙, 形式有隔板和無隔板之分, 在淨化系統中做終端過濾器。
6.超高效空氣過濾器(SUP-HEPA AIRFILTER):
在額定風量下，對粒徑0.1~0.2um粒子的捕集效率在99.999%以上及氣流阻力在280Pa以下的空氣過濾器.其濾料多為超細玻璃纖維紙,形式有隔板和無隔板之分,一般在0.1um 1級和0.1um 10級的淨化系統中做終端空氣過濾器。