vacuum gradient sublimation是什麼

這是利用不同物質在不同的真空狀態下，開始昇華的現象，來進行純淨的過程。
它的原理是，分子量越輕的物質，通常在比較低溫、低真空的狀態下就會昇華。程序是將材料放在真空爐內，先抽到比較低的真空度，再逐漸抽高真空。爐內通常也有不同的溫度區域，材料先經過低溫，然後移到比較高溫的區域，配合高度的真空。這些不純物，通常都是氣體、有機物等，所以用這樣的程序，可以逐漸將這些不純物昇華排除。半導體材料的昇華溫度和真空度比這些雜質高很多，所以會留下來。

2009-08-18 11:27:26 補充：
以前工作上接觸過，請供應廠商來做的簡報。

vacuum gradient sublimation 它的製作過程是如何呢？
http://ethesys.library.ttu.edu.tw/ETD-db/ETD-search/getfile?URN=etd-0826105-093247&filename=etd-0826105-093247.pdf
以上是論文 : 討論有機薄膜電晶體之製作過程, 參考一下.