為什麼真空腔體裡有油會真空抽不好?

Q1:設若1g的油在腔体內...那抽真空可以抽到怎樣的程度呢

A: 這個無法正確回答你的真空度可以到多少,
也要看你油的種類,pump的排氣性能及溫度而定.(要做實驗)
如果你油是一般 油酯 再到達高真空時,油會慢慢的揮發出來造成真空度不良,但在常溫時真空度一樣可以到達10E-6但要到達終端壓力會有困難(因為油氣會造成真空度負擔).加熱後你會發現真空度急速回升(系統乾淨狀況回升不會太誇張),等油揮發完畢後真空度就下降.
如果你油是可以達到10e-8的真空用油酯,當你的系統在常溫10e-8以上操作時不會有影響再到達高,但加熱後一樣會造成空度急速回升.

Q2:油在真空腔體內的話!若是在做薄膜的機台內!除了壓力~對哪些薄膜品質有影響?
A2:膜附著力下降,電性不良,汙染,對光學膜還會造成吸收,穿透反射不佳等狀況.

Q3:請問真空用油跟一般油差在哪裡呢?是差在可釋放出來的氣體和釋放出來的條件(例如要多少的溫度)嗎?
A3: 差在 蒸氣壓(一般標示常溫 20度)

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所採用的真空用油品質不同,真空度就有差
因此,用油之前,先看看該油的品質規格,
在定溫下,他的蒸氣壓多少可決定真空度的好壞.

2009-03-24 20:45:34 補充：
一般看你需要抽到多少Torr,如1x10^(-4)torr 或其他
賣真空油的廠商就會提供你適合的油
假如你用的是隔膜式真空泵,則視轉速選擇一般的機油即可.

真空用油一般用於滾輪式真空泵(像兩顆花生樣),
主要用途在作密封與潤滑,如果油品容易揮發,就失去密封作用

2009-03-24 20:47:17 補充：
隔膜式真空泵腔體是無油的

2009-03-26 18:10:16 補充：
因為不管什麼油,都有其蒸氣壓存在
當真空度抽到低於其蒸氣壓時,若還有油存在
會再蒸發出來,直到無油
但無油時,又失去密封效果
因此,真空度有其極限